Si層とウェットエッチング液の反応

Si層のウェットエッチング液には硝酸とフッ化水素の混酸が使われるということで反応についてノートに整理しました。

Siが硝酸とフッ化水素の混酸に溶けるプロセスとして、まずHNO₃の酸化作用でSiがSiO₂に酸化されます。
次にフッ化水素に含まれる電気陰性度の大きなFの作用により、Si-Oの結合がSi-Fの結合に変わります。
最終的にSiが6つのF原子と結合してヘキサフルオロケイ酸の形になるとのことですが、ここでSiの価電子は4から6に増えています。
銅イオン錯体のところで学習したようにSiはsp³d²の混成軌道を作ることで結合に関与する等価な6つの軌道が形成され、正八面体構造を作って安定します。

ウェットエッチング液は対象の層によって使い分けがあり、透明電極として使われるITO（酸化インジウムスズ）に対しては塩酸や塩化第二鉄が使われるということですのでこの場合の反応も調べます。

6/6（木）学習時間：6.25H
・岡野の化学（110）～（111）
・Si層のウェットエッチング液との反応について
・透明電極の素材について
課題）
・背景知識が少しついてきたのでもう一度太陽電池の特許明細書の全体を通して読んで要点を整理してみる

その他
・4531　知識ゼロから半導体案件を受注できるようになるまで
どの企業がどんな内容で特許を多く取っているのかも調査する