TiO2含有シリカガラスに関する特許(2010-163346)
EUVリソグラフィ用の光学部材(フォトマスクやミラー)に用いるシリカガラスの材料と製法に関する特許明細書を読もうとして、背景となる知識を調べてからしばらくそのままになっていたので、昨日は最後まで読みました。 以前の記事で...
EUVリソグラフィ用の光学部材(フォトマスクやミラー)に用いるシリカガラスの材料と製法に関する特許明細書を読もうとして、背景となる知識を調べてからしばらくそのままになっていたので、昨日は最後まで読みました。 以前の記事で...
昨日は昼間に調べものをする時間が普段より長めに取れたので、以前に少し調べて整理できていなかった化学強化ガラスについてまとめてみました。 ガラスはなぜ割れるのか ガラスのコップは手で強く押してもほとんど変形しませんが、一定...
前回の記事で固体の溶解度曲線について触れました。その際、Na2SO4の溶解度がある温度までは右肩上がりなのにある温度を境に右肩下がりになる理由を調べたところ、ある温度を境に水和物から無水物に変化するため、ということが分か...
岡野の化学で気体の溶解度について学習しました。以前の単元で学習した固体の溶解度についての復習も兼ねてまとめます。 ものが溶けるということ 塩を水に入れて食塩水をつくるとき、塩の白いかたまりはなくなって透明の液体になります...
岡野の化学で飽和蒸気圧について学習しました。洗濯物が乾くしくみと飽和蒸気圧の関係についてのまとめと、飽和蒸気圧が関係する特許について少し書いてみます。 なぜ洗濯物は100℃以下でも乾くのか? 100℃にならなくても洗濯物...
自分:ガラスの種類にニューガラスというものがあるようですが、どのように定義されますか? AI:ニューガラスは、従来のガラスの特性を超えた新しい機能や性質を持つガラス材料を指す総称です。具体的な定義は以下のようになります:...
岡野の化学で理想気体について学習したので、今回はその内容のまとめと、参照した特許について少し書いてみました。 理想気体とは 現実に存在する気体を実在気体と呼びます。それに対して、現実には存在しないけれども、最も望ましい状...
前々回にゼロ膨張ガラスの話を書きました。ゼロ膨張ガラスは、熱を加えてもほとんど大きさが変わりません。これは、膨らむ部分となるアモルファス部分と、縮む部分となる結晶部分がうまく混ざっているからです。 今回はガラスのアモルフ...
3か月の進捗報告を提出してコメントをいただきました。お忙しい中ありがとうございます。 学習したことを自分で説明して、「これはどうなっているの?」「なぜそうなるの?」と自分で問いを投げてみて、それに答えられるようにする。 ...
フォトマスク材料に使われるガラス材料として、SiO2の純度が高く熱膨張率が低い石英ガラスがよく用いられるという話を以前の記事で書きました。しかし、EUVリソグラフィ用のフォトマスクにはさらに低い膨張率が求められるというこ...