前回記事で書いた内容に引き続き、CMP関連で公開訳のある特許明細書を使い、英語から日本語への翻訳学習をしています。 CMP用組成物ということで化学がメインの特許だと思って読み始めたのですが、【発明の背景】のところは半導体...

今までは日本語の特許明細書だけ読んでいましたが、最近読んだCMP関係はある程度内容が理解できてきたので、同じCMP関係で対訳のあるものを読んでみることにしました。 最初は自力で訳してみようとしましたが、英文での特許特有の...

前回の記事で研磨用スラリーの特許について書きました。その特許の中に、シリカ砥粒の粒子径と比表面積の測定に関する記述がありましたので、今回は比表面積から粒子径を求める方法についてまとめました。 概要 比表面積とは 比表面積...

前回は研磨について記事を書きましたので、今回は研磨の中でも特に多層配線形成において行われるCMPという研磨法についてまとめました。 配線形成工程 半導体製造プロセスはIC（集積回路）の出来るまでの前工程と、ICチップをパ...

先日腸溶性錠剤に関する特許を読んだ際に粒子径について調べたところ、CMP用スラリーに関する特許があたったので読んでみることにしました。CMPについてはまだ調べ途中ですが、まずは前提となる知識として研磨と表面粗さについて調...

岡野の化学でハロゲンについて学習したので、今まで学習したことの確認を織り交ぜながら、ハロゲンの性質についてまとめました。 ハロゲンとは ハロゲンとは周期表17族の元素のことです。代表的なものは、原子番号の小さい方から順に...

前回の記事で取り上げた腸溶性錠剤に関する特許明細書の中に「平均粒子径」や「メジアン径」という言葉が出てきました。「該タルクは好ましくは微粒子グレードのもの、具体的には、平均粒子径（体積平均粒子径；メジアン径Ｄ５０）が、０...