研磨用スラリーに関する特許(特開2021-107479)
前回はLSI多層配線のCMPプロセスについて書きました。関連してCMP用の研磨スラリーに関する特許を読んでみたので、その内容をまとめます。 特許請求の範囲 特許請求の範囲は次のようになっています。 【請求項1】 樹脂を...
前回はLSI多層配線のCMPプロセスについて書きました。関連してCMP用の研磨スラリーに関する特許を読んでみたので、その内容をまとめます。 特許請求の範囲 特許請求の範囲は次のようになっています。 【請求項1】 樹脂を...
前回は研磨について記事を書きましたので、今回は研磨の中でも特に多層配線形成において行われるCMPという研磨法についてまとめました。 配線形成工程 半導体製造プロセスはIC(集積回路)の出来るまでの前工程と、ICチップをパ...
先日腸溶性錠剤に関する特許を読んだ際に粒子径について調べたところ、CMP用スラリーに関する特許があたったので読んでみることにしました。CMPについてはまだ調べ途中ですが、まずは前提となる知識として研磨と表面粗さについて調...
岡野の化学でハロゲンについて学習したので、今まで学習したことの確認を織り交ぜながら、ハロゲンの性質についてまとめました。 ハロゲンとは ハロゲンとは周期表17族の元素のことです。代表的なものは、原子番号の小さい方から順に...
先日は腸溶性錠剤に関する特許を読んだので、今度は腸溶性カプセル剤に関する特許を読んでみました。 請求項は下記の通りです。 【請求項1】無水グルコース単位当たりのアセチル基モル置換度が0.6~0.8であり、前記アセチル基モ...
前回の記事で取り上げた腸溶性錠剤に関する特許明細書の中に「平均粒子径」や「メジアン径」という言葉が出てきました。「該タルクは好ましくは微粒子グレードのもの、具体的には、平均粒子径(体積平均粒子径;メジアン径D50)が、0...
前回の記事で腸溶性錠剤について前提となる知識を大まかに確認したので、実際の特許明細書を読んでみました。 特許請求の範囲 まず請求項を確認します。請求項は1~6までで以下に引用した通りです。 【特許請求の範囲】【請求項1】...
岡野の化学で緩衝液について学習したので関連する特許を調べていたところ、腸溶性錠剤に関する特許が見つかりました。前提となる知識が足りていないので特許の内容に入る前に、腸溶性錠剤とはどんなものでどのように作られるのか、緩衝液...
岡野の化学で緩衝液について学習したので、その原理についてまとめます。 緩衝液とは 緩衝液とは、外部から少量の酸や塩基を加えた場合にpHの変化を和らげる働きをする溶液を指します。バッファーとも呼ばれます。 緩衝とは衝撃を和...
前回の記事で取り上げた、クロム系フォトマスクの形成方法に関する特許(特開2002-343769)の続きです。請求項と従来技術の部分を読んだので、残りの【課題を解決するための手段及び発明の実施形態】以降を読んでいきます。 ...