露光装置の変遷
昨日からEUVリソグラフィ関係の特許を読み始めました。といってもまだ背景知識が全然ないので、AIに特許の中で使われている用語を頻度順に抽出させて、その用語の意味を捉えてから内容に入ることにします。 まずEUVリソグラフィ...
昨日からEUVリソグラフィ関係の特許を読み始めました。といってもまだ背景知識が全然ないので、AIに特許の中で使われている用語を頻度順に抽出させて、その用語の意味を捉えてから内容に入ることにします。 まずEUVリソグラフィ...
岡野の化学で中和滴定について学習し、ビュレットの目盛りを読むときにはメニスカスのへこんだ面の位置を基準にしましょうという話が出てきました。 このあたりの話は高校のとき実験をやったから結構覚えているなと思って聞いていたので...
一昨日は疲れていたのか、帰宅して岡野の化学を見ながら途中で寝てしまい気づいたら朝になってしまっていました。最近は調べたいことがどんどん出てきてなかなか寝られないということが増えていたのですが、3994 半導体装置を得意分...
前回はんだ付けにおけるフラックスの酸化膜除去効果について書きましたのでその続きです。フラックスには酸化膜の除去の他に、はんだの濡れ性を高めるという効果もあります。 はんだ付けの際には、はんだの濡れ性が重要になります。はん...
前回はんだ付けについて書きましたので、その続きでフラックスの酸化膜除去効果について調べました。 はんだ付けをする際には、母材の銅表面に生じる酸化膜を除去しないときれいにはんだ付けすることができません。 酸化膜を除去するた...
先日は鋼の状態変化に関して調べたので、関連する共析というキーワードで引っかかってきた、半導体におけるはんだ付けに関する特許を読み始めました。まずは、はんだ付けの基礎知識から調べています。 はんだは、スズとその他の金属の合...
樹脂のアニール処理について調べていたところ、アニーリングの際の温度にガラス転移点が関係するようだということで、ガラス転移点について調べました。 ガラスとは そもそもガラスとは何なのでしょうか。 ガラスには二酸化ケイ素を主...
先日特許明細を読んでいて「アニール」という言葉が出てきました。アニールは熱処理の一種です。特許に出てきたのは半導体のアニール処理なのですが、金属や樹脂にもアニール処理があるということが分かったので、まず金属のアニール処理...
先日から読んでいる特許明細に手続補正がついていたので、どの部分に修正が入ったのかを確認しました。 【手続補正の内容】 ① ×現合金 ⇒ 〇銀合金 ② ×感光醸造 ⇒〇環状構造 ③ ×図の番号との対応 ④ ×ポリアルキ...
先日から読んでいるグラフェン含有膜に関する特許の続きです。請求項から繰り返し出てくる表面分析の部分が全くついていけないので、以下の内容を理解できるようにXPSについて調べました。 特願2020-543134【請求項1】グ...