フォトマスク材料に使われるガラス材料として、SiO2の純度が高く熱膨張率が低い石英ガラスがよく用いられるという話を以前の記事で書きました。しかし、EUVリソグラフィ用のフォトマスクにはさらに低い膨張率が求められるというこ...

前回の記事で石英ガラスについて少し触れたので、今回は石英ガラスの製法の種類と、どのような用途に適しているかという点をまとめてみたいと思います。 石英ガラスの合成方法には主に以下の4つの方法があります。それぞれの製法につい...

２週間前にEUVの光学系部材（フォトマスク、ミラー）に関する特許を読むことにしたのですが、EUVが登場する背景となった微細加工の歴史を調べ、その関係でトランジスタの変遷について調べてだいぶ時間がかかってしまいました。 ま...

先日に引き続き、SI基本単位の熱力学温度（ケルビン：K）について調べていたところ、超臨界流体というものがあると知ったのでその話を書いてみます。 三重点温度 SI基本単位の熱力学温度（ケルビン：K）のかつての定義は、水の三...

岡野の化学でSI基本単位について学習しました。 SI基本単位とは、国際単位系において基本と位置づけられる以下の7つの単位を指します。長さ(m)、質量(kg)、時間(s)、電流(A)、熱力学温度(K)、物質量(mol)、光...

前回FET型のトランジスタについて書きましたので、今回はその中のMOSFETの構造変化について書いてみます。 時代とともに半導体の微細化が進むにつれて、MOSFETの構造も改良されてきました。 プレーナー型 最初に登場し...

前回はバイポーラトランジスタについて書きましたが、その後に出てきたのが電界効果トランジスタ（Field effect transistor;FET）と呼ばれる種類のトランジスタです。今回はFETのしくみについて調べたとこ...

以前の記事でトランジスタとpn接合の話に少し触れましたので、その続きで何回かに分けてトランジスタについて書いてみたいと思います。 トランジスタの主な種類 まず、トランジスタには大きく分けて以下のような種類があります。 バ...

岡野の化学で電池について学習したので、リチウムイオン電池のしくみについて調べてみました。 リチウムイオン電池とは リチウムイオン電池とは、 　・正極にコバルト酸リチウム　・負極に炭素　・電解液にリチウムイオンを含む有機電...