今回は、EUVリソグラフィパターニングプロセスとレジストに関する特許の対訳学習をしていて気になった点を取り上げます。なぜ自分がその訳を選んだのか、を客観的に説明できるよう書くことを意識してみました。 検討箇所 【原文】（...